五大核心技术优势

核心硬核优势·赋能高精度量产

高精度双面双光路对准系统

搭载上下双独立CCD视觉光路，正面精准对准精度可达≤±1um，背面对准精度≤±2 um,适配全品类晶圆。全自动预对位+实时动态纠偏，多层连续套刻重复稳定性优异，满足高端器件精密工艺需求。

全自动无损晶圆闭环传输

采用双真空机械手背吸式上下料设计，全程无人干预，实现自动化闭环作业。支持自动间隙调平、软接触压力精准可控，适配0.3-1.5mm全厚度8寸晶圆，兼容标准晶圆盒自动装卸，可无缝对接匀胶、显影等前后道产线设备，适配自动化产线升级。

长寿命高均匀UV-LED曝光光源

标配365nmi线工业主波长，可选405nm/435nm混合波段;光源照度均匀性≤3%，光强45mW/cm2连续可调。光源使用寿命10000小时，相较传统汞灯能耗降低60%，无需频繁更换灯管，大幅降低生产耗材成本与停机维护时间。

一体化抗震大理石平台

整机采用大理石防震工作台,;搭载UVW高精密工件台，微米级细微调节补偿对位偏差，长期连续量产工况下无精度漂移，持久保障微米级加工精度，设备稳定性远超行业同类机型。

智能可视化工控系统

搭载Windows可视化触控操作界面，全流程工艺参数可一键存储、快速调用，适配多品种产品快速换产。支持自动剂量曝光、定时曝光作业模式，内置异常故障报警、生产数据追溯、实时产能统计功能,可无缝对接工厂MES智能产线系统。