海思半导体

4〃-12〃全自动光刻机Mask Aligner

全自动单面曝光机(Mask Aligner)

全自动双面面曝光机（Mask Aligner）
4-〃12〃手动、半自动光刻机

手动对准光刻机（研发小批量专用机）

自动对准光刻机（研发小批量专用机）
4〃-12〃均胶机、热板、显影机

均胶机、显影机

烤胶机/热板
步进投影式光刻机2-8寸

6-8寸步进式投影式光刻机

2-6寸投影式光刻机

4〃-12〃全自动光刻机Mask Aligner

全自动单面曝光机(Mask Aligner)

全自动双面面曝光机（Mask Aligner）
4-〃12〃手动、半自动光刻机

手动对准光刻机（研发小批量专用机）

自动对准光刻机（研发小批量专用机）
4〃-12〃均胶机、热板、显影机

均胶机、显影机

烤胶机/热板
步进投影式光刻机2-8寸

6-8寸步进式投影式光刻机

2-6寸投影式光刻机